ESPECTROSCOPÍA FOTOELECTRÓNICA DE RAYOS X (XPS)
Equipamiento
Sistema de Espectroscopía Fotoelectrónica de Rayos X (XPS) SPECS equipado con:
- Analizador de energía Phoibos 150 1D-DLD, que permite el análisis de muestras desde baja área (orden micras) hasta alta área (milímetros).
- Fuente de radiación monocromática Focus 500, con ánodo dual Al/Ag, que permite trabajar con potencias de hasta 400 W para el Al y 600 W para la Ag, para mejorar la sensibilidad y el tiempo de análisis.
- Manipulador de muestra de alta precisión MCU-8, que permite movimientos lineales en direcciones x, y, z, rotación azimutal y polar para análisis con resolución angular. Incluye sistema de calentamiento hasta 800ºC y de enfriamiento.
- Cañón iónico (IQE 12/38) para llevar a cabo limpieza y perfiles de profundidad mediante bombardeo con iones Ar+, con un área de barrido de hasta 10x10 mm2.
- Fuente de electrones (FG 15/40) para compensación de cargas en muestras no conductoras.
- Fuente de electrones (EQ 22/35) para espectroscopía Auger, así como SEM y SAM.
- Sistema de detección de electrones secundarios SED-200.
