Study of Intermodulation in RF MEMS Variable Capacitors Egileak: D. Girbau, N. Otegi, L. Pradell, A. Lazaro Urtea: 2006 Aldizkaria: IEEE Trans. Microwave Theory & Tech. Liburukia: 54 no. 3 Hasierako orria - Amaierako orria: 1120 - 1130