MIKROSKOPIA ELEKTRONIKOA ETA MATERIALEN MIKROANALISIA
Ekipamendua
Ekipamendua: MEB-FIB.
Marka: FEI.
Modeloa: Helios Nanolab 650.
____________________________________________________________________________
Deskribapena: FEI Helios NanoLab DualBeam 650 mikroskopio elektroniko ekorketa (SEM)/bideraturiko ioi sorta (FIB) lan estazio bat da, nanoanalisi aurreratua egiteko eta laginak prestatzeko gai dena. Gune bateko TEM lagin espezifikoetarako, FIB-SEMa elektroiei mintz gardenak sortzeko erabili ohi da, fokatutako galio-ioien sortak erabiliz. Gainera, Helios Nanolab 650 FIB-SEMek detektagailu ugari ditu, SEM irudien kalitate bikaina eskaintzeko gai direnak.
____________________________________________________________________________
Aplikazioak:
- Lamelak ateratzea.
- Laginaren gainazalaren irudia elektroiekin eskuratzea.
- Ioi-sortarekin argaldutako laginen transmisio-irudia ematen du.
- Laginen mikroanalisia ahalbidetzen du.
____________________________________________________________________________
Zehaztapen teknikoak:
- 4.5nm-ko kointzidentzia-puntua ebaztea. 65nA-rainoko ioi-sortaren korrontea.
- 5 gas-injektore Pt, W, C, isolatzaile bat (TEOS) eta eraso-gas bat (XeF2) jalkitzeko.
- Elektroi sekundarioen eta elektroi atzerabarreiatuen detektagailuak.
- Omniprobe Autoprobe 200.2 mikromanipulatzailea.
- Ioi-detektagailua, ioiek eta elektroi sekundarioek emandako irudiak har dezakeena.
- STEM detektagailua.
- Oxfordeko detektagailu lehorra duen EDX Aztec Energy 350 mikroanalisi-sistema, 124eV-ko bereizmenarekin
_____________________________________________________________________
Arduraduna (k):
- Sergio Fernandez
Kokapena:
- Rosalin Franklin eraikina
- Sarriena auzoa, z/g. 48940. Leioa. Bizkaia.
_____________________________________________________________________
Kontaktua:
Zerbitzuko teknikaria
- Sergio Fernández doktorea
- Telefonoa: 94 601 5998
- E-maila: sergio.fernandez@ehu.es