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GARCIA ARRIBAS, ALFREDOEuskal Herriko Unibertsitatea
MARTINEZ GONZALEZ, MARIA VICTORIAEuskal Herriko Unibertsitatea

Gaitasunak

Identificar los procesos de fabricación de la industria microelectrónica y conocer sus principios fundamentales.Conocer la aplicación de los procesos de fabricación microelectrónica al desarrollo de dispositivos microelectrónicos y microsistemas.Adquirir destreza experimental en la microfabricación en sala blanca y en el uso de software de simulación

Ikasgai-zerrenda eta bibliografia

  • Procesos básicos de fabricación microelectrónica
    • Bibliografia:M. Quirk y J. Serda, Semiconductor Manufacturing Technology, Prentice Hall, 2001
  • Fabricación de dispositivos microelectrónicos y microsistemas
    • Bibliografia:S. A. Campbell, The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication, Oxford University Press, 2002.
  • Nuevos procesos de fabricación microelectrónica
    • Bibliografia:Z. Cui. Nanofabrication, Principles, Capabilities and Limits. Springer, 2008
  • Microfabricación en sala blanca
    • Bibliografia:Sin bibliografia
  • Simulación en microfabricación
    • Bibliografia:Sin bibliografía

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