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MICROSCOPÍA ELECTRÓNICA Y MICROANÁLISIS DE MATERIALES

Equipamiento

Equipo: MEB-FIB.

Marca: FEI.

Modelo: Helios Nanolab 650.

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Descripción: El FEI Helios NanoLab DualBeam 650 es una estación de trabajo de microscopio electrónico de barrido (SEM) / haz de iones enfocado (FIB) capaz de realizar nanoanálisis avanzado y preparación de muestras. Para muestras TEM específicas de un sitio, el FIB-SEM se utiliza habitualmente para producir membranas transparentes a los electrones con el uso de haces de iones de galio enfocados. Además, el Helios Nanolab 650 FIB-SEM cuenta con una amplia variedad de detectores capaces de ofrecer una excelente calidad de imágenes SEM. ____________________________________________________________________________

Aplicaciones:

  • Extracción de lamelas.
  • Adquirir con electrones la imagen de la superficie de la muestra.
  • Da la imagen en transmisión de las muestras adelgazadas con el haz de iones.
  • Permite el microanálisis de las muestras.

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Especificaciones técnicas:

  • Resolución en el punto de coincidencia de 4.5nm. Corriente del haz de iones hasta 65nA.
  • 5 inyectores de gases para la deposición de: Pt, W, C, un aislante (TEOS) y un gas de ataque (XeF2).
  • Detectores de electrones secundarios y electrones retrodispersados.
  • Micromanipulador Omniprobe Autoprobe 200.2.
  • Detector de iones que puede adquirir tanto la imagen dada por los iones como por los electrones secundarios.
  • Detector STEM.
  • Sistema de microanálisis EDX Aztec Energy 350 con detector seco de Oxford cuya resolución es de 124eV

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Responsable(s):           

  • Sergio Fernandez

Ubicación:                       

  • Edificio Rosalin Franklin
  • Barrio Sarriena s/n. 48940. Leioa. Bizkaia.

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Contacto:

Técnico del servicio